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发明名称 SEPARATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH10125929(A) 申请公布日期 1998.05.15
申请号 JP19960300371 申请日期 1996.11.12
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SHIMODA TATSUYA;INOUE SATOSHI;MIYAZAWA WAKAO
分类号 C23F4/00;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/00;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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