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发明名称 HANDOTAISOCHINO SEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5142467(A) 申请公布日期 1976.04.10
申请号 JP19740115548 申请日期 1974.10.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 UEHARA KEIJIRO;HIGUCHI HISAYUKI;SUZUKI MICHIO
分类号 H01L21/306;H01L21/22;H01L21/308;H01L21/31 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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