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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING DISPLAY PANEL SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH10123193(A) 申请公布日期 1998.05.15
申请号 JP19960295877 申请日期 1996.10.18
申请人 MICRONICS JAPAN CO LTD 发明人 HIRAI YUKIHIRO
分类号 G01R31/00;G02F1/13;G09F9/00;(IPC1-7):G01R31/00 主分类号 G01R31/00
代理机构 代理人
主权项
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