반도체 제조장비의 노광장치

摘要

본 고안의 광원으로 부터 발산되는 광에너지가 집결되어 전달되는 광통로인 두개 이상의 파이버글라스와, 웨이퍼 양측 가장자리 상부와 하부에 연결설치되어, 파이버글라스가 각 내부에 삽입되는 두개 이상의 노광헤드와, 각각의 노광헤드가 좌우 이동되도록 하는 구동수단과, 노광헤드게 각각 설치되어, 웨이퍼의 가장자리가 감지되는 감지센서부를 구비하여 이루어지는 반도체 제조장비의 노광장치에 관한 것이다.