| 发明名称 |
SURFACE SHAPE MEASURING DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10123153(A) |
申请公布日期 |
1998.05.15 |
| 申请号 |
JP19960274330 |
申请日期 |
1996.10.17 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
HARA SHINYA;SUZUKI YOSHIHIKO |
| 分类号 |
G01K7/02;G01B21/30;G01N37/00;G01Q30/04;G01Q60/24;G01Q60/58;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01K7/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
