반도체 웨이퍼 에칭장비의 챔버내 파티클 제거장치

摘要

본 고안은 반도체 웨이퍼 에칭장비의 챔버내 파티클 제거장치에 관한 것으로써, 좀 더 구체적으로는 웨이퍼 에칭작업시 발생되는 파티클(Particle)을 챔버로부터 깨끗이 제거할 수 있도록 한 것이다. 이를 위해, 챔버(1)의 외벽을 감싸도록 외부진동부재(9)를 부착하고, 상기 챔버(1)내의 서셉터(3)내부에는 내부진동부재(1)를 내장하여 상기 각 진동부재가 전원을 공급받아 진동되도록 한 것이다.