发明名称 PATTERN FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10125571(A) 申请公布日期 1998.05.15
申请号 JP19960270948 申请日期 1996.10.14
申请人 DAEWOO ELECTRON CO LTD 发明人 RA KEICHU;CHO KEIWA
分类号 H01L21/306;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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