发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10125915(A) 申请公布日期 1998.05.15
申请号 JP19960282318 申请日期 1996.10.24
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 YAMAZAKI SATOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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