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发明名称 PROCESS FOR PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5240086(A) 申请公布日期 1977.03.28
申请号 JP19750116113 申请日期 1975.09.26
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 TSUDA AKITO
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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