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发明名称 Positiv arbeitende photoempfindliche Polyimidharzzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69031933(T2) 申请公布日期 1998.05.14
申请号 DE19906031933T 申请日期 1990.10.25
申请人 NISSAN CHEMICAL INDUSTRIES, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YUKAWA, MASAHIKO, C/O NISSAN CHEM. IND. LTD, FUNABASHI-SHI, CHIBA-KEN, JP;ABE, TOYOHIKO, C/O NISSAN CHEM. IND. LTD, FUNABASHI-SHI, CHIBA-KEN, JP;KOHTOH, NORIAKI, C/O NISSAN CHEM. IND. LTD., FUNABASHI-SHI, CHIBA-KEN, JP
分类号 G03F7/022;C08G73/10;C08K5/28;C08L79/08;G03F7/023;G03F7/037;G03F7/039;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/023 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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