用于双光束激光纹理化的光学设备

摘要

一个盘片纹理化工具用于,例如在一个硬存储盘片的两面的环形部分中提供纹理化点。通过两个盘片处理站盘片被送入和退出在盒中的纹理化过程。一个光学系统包括一个在一个分束器定向的激光器以分离激光束成为两个具有大致相等能量的光束,它们被定向沿着平行路径经过一个能量控制光学模块以同时暴露在将被纹理化的盘片的相对的两个面上。能量控制光学模块包括用于衰减和测量两个光束中每一个的装置。在两个盘片处理站内的每一个内一个穿梭反射镜在一个盘片上交替定向这两个光束。

主权项

1.一个能量控制光学模块用于平衡一对平行偏振的激光束的能量，其中所述光学模块包括：一个光程通过它每个所述激光束在所述光学模块内的第一方向被定向，与所述光程以平行的空间分开的关系延伸；衰减装置沿每个所述光程配置用于控制那里定向的所述偏振的激光束的输出能量等级；能量检测装置沿每个所述光程配置用于检测从所述衰减装置定向输出激光束的输出能量等级。