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发明名称 SENSOR-DRIVE AND SIGNAL-PROCESSING METHOD
摘要
申请公布号 EP0587844(B1) 申请公布日期 1998.05.13
申请号 EP19930906441 申请日期 1993.03.25
申请人 MICRO-EPSILON MESSTECHNIK GMBH & CO. KG 发明人 MANDL, ROLAND;BAUMANN, HEINRICH
分类号 G01B7/00;G01D3/02;G01D3/032;G01D5/22;(IPC1-7):G01D3/02 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
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