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发明名称 COMPOSITIONS FOR POLISHING SILICON WAFERS AND METHODS
摘要
申请公布号 EP0840664(A1) 申请公布日期 1998.05.13
申请号 EP19960916757 申请日期 1996.05.30
申请人 RODEL, INC. 发明人 LONCKI, SCOTT, B.;COOK, LEE, MELBOURNE;SHEN, JAMES;PIERCE, KEITH, G.
分类号 B24B1/00;B24C1/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/306;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
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