发明名称 PROCESS AND DEVICE FOR ION THINNING IN A HIGH-RESOLUTION TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0840940(A1) 申请公布日期 1998.05.13
申请号 EP19960930950 申请日期 1996.07.24
申请人 NMI NATURWISSENSCHAFTLICHES UND MEDIZINISCHES INSTITUT AN DER UNIVERSITAET TUEBINGEN IN REUTLINGEN 发明人 NISCH, WILFRIED;GNAUCK, PETER
分类号 G01N1/28;G01N1/32;H01J37/26;H01J37/30;H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 G01N1/28
代理机构 代理人
主权项
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