| 发明名称 |
RESIN COMPOSITION FOR RESIST PROTECTION FILM, RESIST PROTECTION FILM AND PATTERN PRODUCING METHOD USING THE FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10120968(A) |
申请公布日期 |
1998.05.12 |
| 申请号 |
JP19970210282 |
申请日期 |
1997.08.05 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
NISHIO SHIGERU;KATO KOJI;HASHIMOTO MASAHIRO;HASHIMOTO MICHIAKI |
| 分类号 |
G03F7/11;C09D129/04;C09D129/10;C09D131/04;C09D133/02;C09D139/06;C09D141/00;C09D171/02;C09D201/00;H01L21/027;(IPC1-7):C09D141/00 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
