| 发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING METHOD, MAGNETRON SPUTTERING DEVICE AND MAGNET UNIT USED THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10121236(A) |
申请公布日期 |
1998.05.12 |
| 申请号 |
JP19960273303 |
申请日期 |
1996.10.16 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MARUYAMA KENJI;YOKOYAMA MASAHIDE |
| 分类号 |
C23C14/35;(IPC1-7):C23C14/35 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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