| 发明名称 |
COMPOSITION FOR BOTTOM ANTI-REFLECTIVE COATING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10120940(A) |
申请公布日期 |
1998.05.12 |
| 申请号 |
JP19960276573 |
申请日期 |
1996.10.18 |
| 申请人 |
FUJI PHOTO FILM CO LTD |
发明人 |
MIZUTANI KAZUYOSHI;YOSHIMOTO HIROSHI |
| 分类号 |
G03F7/004;C08F12/26;C08L25/18;C08L57/12;C09D5/00;G03F7/11;H01L21/027;(IPC1-7):C09D5/00 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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