发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5492175(A) 申请公布日期 1979.07.21
申请号 JP19770160296 申请日期 1977.12.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NISHIMOTO KEIJI;TANAKA SHINPEI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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