| 发明名称 |
FORMATION OF CRYSTAL FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10120491(A) |
申请公布日期 |
1998.05.12 |
| 申请号 |
JP19960274402 |
申请日期 |
1996.10.17 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
AKIYAMA KOJI;TSUTSUI HIROSHI;MIZUGUCHI SHINICHI |
| 分类号 |
C30B25/00;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):C30B25/00 |
主分类号 |
C30B25/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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