发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10121241(A) 申请公布日期 1998.05.12
申请号 JP19960274738 申请日期 1996.10.17
申请人 NEC CORP 发明人 MORIOKA DAIGO;FUKUZAWA SHINICHI;KAWAKAMI TAKESHI
分类号 C23C14/50;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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