发明名称 Röntgenbelichtungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE69031897(T2) 申请公布日期 1998.05.07
申请号 DE19906031897T 申请日期 1990.10.18
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 UNO, SHINICHIRO, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;WATANABE, YUTAKA, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;MOCHIZUKI, NORITAKA, C/O CANON KABUSHIKI KAISH, OHTA-KU, TOKYO, JP;EBINUMA, RYUICHI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP;FUKUDA, YASUAKI, C/O CANON KABUSHIKI KAISHA, OHTA-KU, TOKYO, JP
分类号 G03F7/20;G21K1/06;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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