| 发明名称 |
METODO IN LINEA PIANA DI ESSICCAZIONE DI WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1283920(B1) |
申请公布日期 |
1998.05.07 |
| 申请号 |
IT1996RM00090 |
申请日期 |
1996.02.09 |
| 申请人 |
GEORGE KOCH SONS, INC. |
发明人 |
DEXTER JEFFREY L.;SIEMERS DAVID C.;HEAD LARRY J. |
| 分类号 |
F26B17/04;F26B23/02;F26B23/10 |
主分类号 |
F26B17/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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