发明名称 RESISTIVITY MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10115642(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960287621 申请日期 1996.10.09
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 MURATA HITOSHI;KITAHARA KENJIRO
分类号 G01R1/073;G01R27/08;H01L21/66;(IPC1-7):G01R27/08 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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