| 发明名称 |
SUBSTRATE ROTATING DEVICE AND SUBSTRATE ROTATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10116789(A) |
申请公布日期 |
1998.05.06 |
| 申请号 |
JP19960328943 |
申请日期 |
1996.12.09 |
| 申请人 |
MATERIALS RES CORP;READ RITE CORP |
发明人 |
HURWITT STEVEN;REISS IRA;ZIELINSKI MARIAN;TAN SWIE-IN |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/50;H01L21/00;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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