制备二氯化硅的方法

摘要

由硅与氯化氢反应制备三氯化硅的方法,其包括在硅与氯化氢反应期间或之前使选自由二氯代硅烷、一氯代硅烷和甲硅烷组成的该组中的至少一种硅烷化合物引入与硅接触以除去硅表面的氧化硅,由此提高由硅与氯化氢的反应活性以稳定地制备三氯化硅。进一步地,为了抑制四氯化硅的产生而使碱金属化合物共同存在于硅与氯化氢反应中,由此使在高选择性下制备三氯化硅成为可能。

主权项

1、一种通过硅与氯化氢反应制备三氯化硅的方法，其包括在硅与氯化氢反应期间或之前使选自由二氯代硅烷，一氯代硅烷和甲硅烷组成的该组中的至少一种硅烷化合物被引入与硅接触。