| 发明名称 |
REFLECTOR FOR SEMICONDUCTOR PROCESS CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10116793(A) |
申请公布日期 |
1998.05.06 |
| 申请号 |
JP19970232299 |
申请日期 |
1997.08.28 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
LACOURT DAVID W;YAM MARK;LALEZARI RAMIN;LONG DALE |
| 分类号 |
G01J5/00;G01J5/02;G02B1/10;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/26 |
主分类号 |
G01J5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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