发明名称
摘要
申请公布号 JP2747158(B2) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19920052103 申请日期 1992.03.11
申请人 YAMAGUCHI NIPPON DENKI KK 发明人 MAGOTA MASASHI
分类号 H01L21/66;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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