发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION
摘要
申请公布号 GB1597605(A) 申请公布日期 1981.09.09
申请号 GB19770052522 申请日期 1977.12.16
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人
分类号 H01L29/812;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/338;H01L23/544;(IPC1-7):01L21/44;01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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