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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10116836(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960268362 申请日期 1996.10.09
申请人 NEC CORP 发明人 TAKAHASHI SEIICHI
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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