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发明名称 A process for device fabrication using projection lithography and an apparatus therefor
摘要
申请公布号 EP0725423(A3) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 EP19960300307 申请日期 1996.01.16
申请人 AT&T CORP. 发明人 BERGER, STEVEN D.;WATSON, GEORGE P.;LIDDLE, JAMES A.
分类号 G03F7/20;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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