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发明名称 PROBE
摘要
申请公布号 JPH10115667(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960272249 申请日期 1996.10.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SEKIGUCHI HIDENORI;SAKATA YUJI;FUJII AKIRA
分类号 G01R1/06;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
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