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发明名称 DOCKING AND ENVIRONMENTAL PURGING SYSTEM FOR INTEGRATED CIRCUIT WAFER TRANSPORT ASSEMBLIES
摘要
申请公布号 EP0839385(A1) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 EP19960923456 申请日期 1996.06.26
申请人 SEMIFAB INCORPORATED 发明人 ROBERSON, GLENN, A., JR.;GENCO, ROBERT, M.;MUNDT, G., KYLE
分类号 H01L21/67;B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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