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发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10116972(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960267622 申请日期 1996.10.09
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO SHOHEI
分类号 G01K7/02;G01J1/02;H01L27/14;H01L37/00;(IPC1-7):H01L27/14 主分类号 G01K7/02
代理机构 代理人
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