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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREOF AND SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10116964(A) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19960268151 申请日期 1996.10.09
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HOSHI SHINICHI
分类号 C23C14/04;C23C14/22;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/203;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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