| 发明名称 |
ULTRASONIC WASHER AND ULTRASONIC WASHING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10113627(A) |
申请公布日期 |
1998.05.06 |
| 申请号 |
JP19970220486 |
申请日期 |
1997.08.15 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MASUI KENJI;WATANABE HIDEHIRO;KOSAKA AKIO |
| 分类号 |
B08B1/00;B08B3/02;B08B3/12;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/12 |
主分类号 |
B08B1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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