| 发明名称 |
Apparatus for forming a thin film and process for forming a thin film by means of the apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0548926(B1) |
申请公布日期 |
1998.05.06 |
| 申请号 |
EP19920121821 |
申请日期 |
1992.12.22 |
| 申请人 |
TSUBOUCHI, KAZUO |
发明人 |
TSUBOUCHI, KAZUO;MASU, KAZUYA |
| 分类号 |
B01D1/14;B01D1/16;B01D1/20;B01D3/06;B01J7/02;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
B01D1/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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