发明名称 Radiation sensitive composition
摘要
申请公布号 EP0793144(A3) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 EP19970103386 申请日期 1997.02.28
申请人 JAPAN SYNTHETIC RUBBER CO., LTD. 发明人 IWANAGA, SHINICHIRO;SAKURAI, AKIHIKO;TANABE, TAKAYOSHI;TSUJI, AKIRA
分类号 G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利