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发明名称
摘要
申请公布号 JP2746285(B2) 申请公布日期 1998.05.06
申请号 JP19950292986 申请日期 1995.11.10
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 NAKAMURA HIROYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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