发明名称 转移大致圆形之物体的装置
摘要 一种装置,用来将大致成圆形之物体从第一未装载位置转移至第二装载位置,欲得第二装载位置之精确定位,故用所提议之机构来补偿支持臂部分上之物体的偏位。支持臂部分的动作期间,圆形物体之周边相关于支持臂部分的位置受到检测。基于该检测,可保证支持臂部分之动作的正确。
申请公布号 TW330916 申请公布日期 1998.05.01
申请号 TW085113848 申请日期 1996.11.13
申请人 ASM国际股份有限公司 发明人 柯尼柳斯.汉斯楚;詹.林格;鲁迪.史吉摩
分类号 B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种转移装置,用来将大致成圆形之物体从第一未装载位置转移至第二装载位置,此装置包含啮合该物体、转移该物体并在该第二定位处释开该物体所用的可位移式转移机构;决定该可位移式转移机构上之该物体之定位所用的机构;控制该可位移式转移机构之动作所用的定位控制机构,该定位控制机构包含一阵列之固定光感机构,此光感机构被定位在该第一定位至该第二定位的物体路径中而其方向不平行于该路径之延伸线且其中设置了与该定位控制机构相连接之计算机构以便决定该物体之定位,其决定乃根据该光感机构阵列之输出及该可位移式转移机构之速率。2.依照申请专利范围第1项之装置,其中设有一机构用来在该物体通过该光感机构之阵列期间决定该物体之速率,其中速率决定机构与计算机构相连。3.依照申请专利范围第1项之装置,其中该机构包含进一步之光感机构及位于该转移机构上之合作性固定参考机构。4.依照申请专利范围第1项之装置,其中支持臂部分设有参考机构以便与固定光感机构合作,该光感机构与速率决定机构相连接,此速率决定机构与计算机构相连。5.依照申请专利范围第1项、第2项、第3项及第4项之其中一项之装置,其中该光感机构阵列以大体上垂直于该物体路径之方式延伸。6.一种转移装置,用来将大致圆形之物体从第一未装载定位转移至第二装载定位,该装置包含啮合该物体、转移该物体并在该第二定位处释开该物体所用的可位移式转移机构;决定该可位移式转移机构上之该物体之定位所用的机构;控制该可位移式转移机构之动作所用的定位控制机构,该定位控制机构包含一阵列之固定光感机构,此光感机构被定位在该第一定位至该第二定位的物体路径中而其方向不平行于该路径之延伸线且其中设置了与该控制机构相连接之计算机构以便决定该物体之定位,其决定乃根据该光感机构阵列之输出及该可位移式转移机构之速率,该定位控制机构又具有与计算机构相连接之光感机构以便决定该物体通过该光感机构之阵列期间的速率。7.依照申请专利范围第6项之装置,其中该进一步之光感机构包含间隔分开之光感机构的进一步阵列。8.依照申请专利范围第6项或第7项之装置,其中两光感机构阵列皆具有至少一个共同之光感机构。图示简单说明:第一图显示依照本发明之设备的侧视图;第二图显示依照附第一图之设备的平面视图;第三图显示依照本发明之设备的部分分解且详细之侧视图;第四图显示依照附第一图至附第三图的设备之立体图,且第五图显示方块图。
地址 荷兰