发明名称 压电致动器装置
摘要 一种压电致动器,该致动器具有一个大位移率及一种比较简单的结构,能提供一输出而无需任何特定支座,并可以低成本制造。该压电致动器10采用一种平面片状形式并具有相互重叠起来之第一与第二膜层11及12。第一膜层区11之构成包括一种压电陶瓷材料并包含电极13-1至13-n,用以接收一致动电压,以促使此第一膜层区在与其平行之一平面收缩。该第二膜层区12乃系与该第一膜层区11制成整体并包括一种陶瓷材料。
申请公布号 TW331043 申请公布日期 1998.05.01
申请号 TW084104202 申请日期 1995.04.27
申请人 飞利浦电子股份有限公司 发明人 伍特,谭;英格伯,凡.派特
分类号 H01L41/187 主分类号 H01L41/187
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1.一种平面压电致动器装置,包括相互重叠之第一与第二膜层区,该第一膜层区用一种压电陶瓷材料制成并在其中包含电极,用以接收一致动电压供该第一膜层区的径向收缩之用,该第二膜层区则用一种陶瓷材料制成并系与该第一膜层区制成整体,其中该致动器装置具有一种一般为正方形的多边形或圆形俯视图。2.根据申请专利范围第1项之压电致动器装置,其中该等第一及第二膜层区均系用相同压电陶瓷材料制成。3.根据申请专利范围第1或第2项之压电致动器装置,其中该等第一及第二膜层区两者均系利用一种陶瓷层技术制成。4.一种压电致动器装置,包括:一第一平面压电致动器元件,该元件具有配置为相互重叠之第一与第二膜层区,该第一膜层区用一种压电陶瓷材料制成并在其中包含用以接收一致动电压电极,以供该第一膜层区作径向收缩之用,该第二膜层区则用一种陶瓷材料制成并系与该第一膜层区制成整体;一第二平面压电致动器元件,其构造乃在补充该第一致动器元件;以及连接装置,用以将该等第一及第二致动器元件以沿着该等第一及第二致动器元件周边之预定位置处施以相互连接并系以该等第一及第二致动器元件之第一膜层区相互面对。5.根据申请专利范围第4项之压电致动器装置,其中每一该等第一及第二致动器元件均具有一种一般为正方形的俯视图以及该等连接装置均为软焊料,以便将该等第一及第二致动器元件连接在四个角隅处或其四个角隅附近。6.根据申请专利范围第4或第5项之压电致动器装置,其中每一致动器元件之该等第一及第二膜层区均系用相同压电陶瓷材料制造。7.根据申请专利范围第4或5项之压电致动器装置,其中每一致动器元件之该等第一及第二膜层区两者均系利用一种陶瓷层技术制成。8.根据申请专利范围第6项之压电致动器装置,其中每一致动器元件之该等第一及第二膜层区两者均系利用一种陶瓷层技术制成。9.根据申请专利范围第4项之压电致动器装置,其中每一该等第一及第二致动器元件均具有一圆形俯视图以及该等连接装置均为软焊料,以便将该等第一及第二致动器元件沿着其周边全部连接起来。10.一种致动器单元,包括:引导装置,用来以一种堆叠方式容纳根据申请专利范围第4至9项中任何一项多个压电致动器装置,以便依每一装置的宽度方向引导该等致动器装置;固定耦合至该引导装置之停止器装置,用以与该堆致动器装置之一端面接合,以防止该致动器装置移向该停止器装置;以及耦合至该引导装置之一输出构件,俾可在该等致动器装置之位移方向中滑动,该输出构件并系以一部分配置在该引导装置内,用以与该堆致动器装置之另一端面接合,以便将该位移方向中之部分移动传至该引导装置外部。图示简单说明:第一图为根据本发明之一第一具体实例之压电陶瓷多层致动器装置之一横断面图。第二图为第一图致动器装置之一透视图,其中以两种不同状态表示该致动器装置。第三图为根据本发明之一第二具体实例之一种压电陶瓷多层致动器装置之俯看透视图。第四图为沿着直线IV-IV所取之第三图致动器装置之一横断面图。第五图为表示第三图致动器装置之一侧方透视图之一示意图,其中以两种不同状态表示该致动器装置。第六图为表示一致动器单元之一示意图,其中采用多个第三图的致动器装置。
地址 荷兰
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