| 主权项 |
1.一种用以评估气管效能的方法包含步骤如下:(a) 准备 一个接受分析的样品气管并切割该样品气管成为 所望之尺 寸和形状;(b)运用一个光学显微镜检验该切割之样 品气 管的表面状况与缺陷分布;(c)分析在步骤(b)中无法 量测 到之表面缺陷的构造和组成,用以决定该表面缺陷 的型式 和组成及一表面纹理的形状;(d)分析一个表面处理 层在 沿着其厚度上的构造;以及(e)综合地分析由步骤(a) 到(d )以数据表示之缺陷密度和表面粗糙程度,以定义 一个实 际上可用于半导体制造的参考数据。2.如申请专 利范围第1项所述之方法,其中该样品气管系 以不锈钢制成。3.如申请专利范围第1项所述之方 法,其中该步骤(c)系 以一个电子探测显微分析器实施。4.如申请专利 范围第1项所述之方法,其中该步骤(d)系 以一个螺丝钻分光镜实施。5.如申请专利范围第1 项所述之方法,其中该方法更包含 在一个预定区域上分析一个表面的粗糙程度以评 估一个纹 理之缺陷密度、尺寸和深度以及该样品气管之表 面粗糙程 度的步骤(f)。6.如申请专利范围第5项所述之方法, 其中该步骤(f)系 以原子力显微镜实施。7.一个用以分析一个样品 气管之表面粗糙程度的原子力显 微镜,该显微镜包含:一个与该被分析之样品气管 内侧表 面接触的尖端;以一个用以坚固地持住该尖端的尖 端托夹 ;其中该尖端托夹具有一个小的外直径和一很长的 长度以 2该尖端可趋近该样品气管的中央部份以进行量测 。图示 简单说明:第一图系依据本发明之一实施例而描绘 用以评 估一气管效能之方法的流程图;第二A图至第二D图 系显 示准备一样品之过程的说明图示;第三A图至第三D 图系 显示实际进行评估过程中各点之剖面视图,其中第 三A图 描绘藉一光学显微镜进行评估的点,第三B图描绘 藉一电 子探测显微分析器(EPMA)进行评估的点,第三C图描 绘藉 一螺丝钻电子分光镜(AES)进行评做的点以及第三D 图描 绘藉一原子力显微镜(AFM)进行评估的点;第四A图系 颢 示以第三D图中以原子力显微镜(AFM)所评估之气管 的剖 面视图;以及第四B图系本发明之原子力显微镜一 尖端托 夹的正视图。 |
