| 摘要 |
실험을 목적으로 클림룸 내부에 파티클을 발생시키는 반도체 파트클 발생기에 관한 것이다. 본 고안은, 공기공급원에서 공급되는 공기가 버블발생기를 포함한 제1라인과 상기 제1라인에서 분기된 제2라인으로 공급되도록 구성되고, 상기 제1라인을 통과한 특정크기를 가지는 파티클을 포함한 에어솔상태의 공기와 상기 제2라인을 통과한 공기가 제3라인으로 혼합 방출되도록 구성된 반도체 파트클 발생기에 있어서, 상기 버블발생기 전단에 공기의 양을 제어 및 확인하는 제1수단이 구성되고, 제2라인에도 공기의 양을 제어 및 확인하는 제2수단이 구성되며, 상기 제3라인에는 특정크기를 가지는 상기 혼합방출 공기의 파티클 수를 카운트하는 레이저 파티클 카운터가 설치됨을 특징으로 한다. 따라서, 파티클의 분석에 정확성을 기할 수 있는 효과가 있다. |
