| 摘要 |
<p>본 고안은 온도 보정용 열전대에 관한 것으로서 열전대 접점을 하나씩 가지는 각각 지름이 다른 다수개의 석영관을 가지고 지름이 큰 석영관 속으로 지름이 작은 석영관이 삽입 될 수 있는 형태를 가지는 석영관부와, 상기 석영관부의 가장 지름이 큰 석영관이 부착된 지지대와, 상기 지지대 외부에 가스 주입구를 가지고 하단의 석영관부터 상단의 석영관 까지 가스를 공급할 수 있는 길이 조절관과, 상기 지지대로부터 외부기기에 연결되는 다수개의 연장선으로 구성되어 반도체 공정장치의 세정이나 공정장치의 점검시 탈착하고 장착하는 작업시 석영관의 길이를 축소 조절시 전체의 길이가 약 300mm정도로 조절할 수 있으므로 사용이 용이하고, 운반이나 보관할 때 파손을 줄일 수 있다.</p> |
