부동태막 형성장치

摘要

본 고안은 부동태막 형성장치에 관한 것으로써, 챔버 몸체와, 몸체 내에 형성되고 웨이퍼가 안착되는 안착부와, 몸체 내부로 오존가스를 공급하되, 안착부에 안착된 웨이퍼 상면을 향하는 다수개의 공급구가 대응하는 웨이퍼상면 면적이 비교적 같은 정도가 되도록 고른 분포를 갖는 노즐부를 포함하여 이루어진다.