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发明名称 Testverfahren für Halbleiterschaltungsebenen
摘要
申请公布号 DE59501667(D1) 申请公布日期 1998.04.30
申请号 DE19955001667 申请日期 1995.01.02
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 WEBER, WERNER, DR., D-80637 MUENCHEN, DE;KLOSE, HELMUT DR., D-81929 MUENCHEN, DE;HUEBNER, HOLGER DR., D-85598 BALDHAM, DE;KOEPPE, SIEGMAR, DIPL.-ING., D-30880 LAATZEN, DE
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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