| 摘要 |
본 고안은 스텝퍼 조명계의 광축 얼라인 장치에 관한 것으로, 종래에는 렌즈의 위치별 조도분포를 상기 조명계 내부의 램프 위치 조정을 통해 조절하는 것이었으나, 상기 램프를 지나치게 이동시키게 되면 조도분포가 불량해지고, 이로 인해 패턴노광시 수율저하 및 생산성 저하를 유발하게 되는 한편, 측정기준도 조도센서에 의해 감지되기 때문에 조명계 자체가 열화에 의해 변형되었을 가능성을 인식하지 못하여 결국 장비가 파손될 수도 있는 문제점도 있었던 바, 본 고안에서는 스텝퍼의 조명계 광원으로 레이저 빔을 사용하고, 그 빔이 일차적으로 도착, 완료되는 웨이퍼 스테이지에 소정형상의 측정미러 슬릿을 설치하며, 그 측정미러 슬릿의 형상대로 상기 빔이 구획, 반사되어 모니터에 화상처리 되도록 하는 한편, 상기 레이저 빔과의 비교광원인 LED의 빛을 구획하는 별도의 기준마킹 슬릿을 설치하여 상기 측정미러 슬릿의 형상과 화면상에 오버랩 되도록 함으로써, 그 오버랩 되는 두 화상을 비교, 수정하면서 원하는 광축을 추출하게 된다. 이로써, 패턴 노광시 조도분포의 불량으로 발생되는 수율저하 및 생산성 저하는 물론, 상기 스텝퍼 조명계 자체의 파손을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다. |
