发明名称 Herstellverfahren für Dünnschicht-Absolutdrucksensoren
摘要
申请公布号 DE59308318(D1) 申请公布日期 1998.04.30
申请号 DE19935008318 申请日期 1993.08.20
申请人 ENDRESS + HAUSER GMBH + CO, 79689 MAULBURG, DE 发明人 HABIBI, MASOUD DR. ING., D-70191 STUTTGART, DE;LUEDER, ERNST, PROF. DR.-ING. HABIL, D-70192 STUTTGART, DE;KALLFASS, TRAUGOTT, DR., D-71723 GROSSBOTTWAR, DE;HEGNER, FRANK, DR., D-79540 LOERRACH, DE;SCHNEIDER, GEORG, DR., D-79650 SCHOPFHEIM, DE
分类号 G01L7/00;G01L9/00;G01L9/04;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L7/00
代理机构 代理人
主权项
地址