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发明名称 DEPOSITING APPARATUS FOR HIGH-DIELECTRIC RATIO MATERIAL
摘要
申请公布号 KR0136464(B1) 申请公布日期 1998.04.29
申请号 KR19940022743 申请日期 1994.09.09
申请人 LG ELECTRONICS CO.,LTD 发明人 KIM, KWANG-YOUNG
分类号 H01L21/314;(IPC1-7):H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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