一种半导体薄膜电热元件及其制法

摘要

本发明公开了一种半导体薄膜电热元件,是在绝缘耐热的底衬上有一层致密的稀土复合物半导体薄膜,电热元件两端是电极,其制法是通过化学溶液制备、衬底清洗及预热、高温化学喷涂、反应沉淀结晶成膜、退火并制作电极等过程,缩短了制作过程,且半导体薄膜材料有很好的抗氧化性和抗酸碱腐蚀能力,薄膜与衬底之间分子结合力强,使热稳定性好,在急冷急热冲击下薄膜不易脱落,在高温下不蒸发减薄,克服了现有半导体薄膜电热元件的使用性能差、制作过程复杂等缺点。

主权项

1、一种半导体薄膜电热元件，其特征是在绝缘耐热的底衬(1)上有一层致密的稀土复合物半导体薄膜(2)，电热元件两端是电极(3)。