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发明名称 WAFER CHUCK
摘要
申请公布号 JPS6214436(A) 申请公布日期 1987.01.23
申请号 JP19850152374 申请日期 1985.07.12
申请人 CANON INC 发明人 DEGUCHI SHINKICHI;IMAI SHUNZO;SATO TERUYA
分类号 H01L21/683;B23Q3/06;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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